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半導體/芯片 電子特氣系統

  半導體芯片電子特氣系統是半導體芯片行業安全生產不可缺少的一部分,這個行業對氣體純度要求較高,選用供氣系統配置相比其它行業要更加的高端。

  什么是電子特氣

  易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的氣體統稱為電子特氣。電子特氣系統工程是用于保證電子特氣的安全使用的系統。

  電子特氣系統組成

  電子特氣系統工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、監督控制部分(氣體管理系統GMS)幾部分。

特氣柜氣體分配箱 氣瓶架

  電子特氣系統特點

  單臺電子特氣系統設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;多臺設備用PLC或TGO連起來,監控報警系統可以與安監系統、消防系統對接。完善、安全、專業是我們的特點。

  適合場合:半導體行業、微電子企業、光伏太陽能、濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等。

  深圳蓋斯帕克長期致力于電子特氣系統工程的服務,公司自有經驗豐富的、專業的安裝工程服務團隊與專業的設計團隊,成功開發設計有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統GMS,已成功安裝于諸多高等院??蒲惺遗c半導體企業,且目前運行良好。


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