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大宗氣體工程

  大宗氣體:

  集成電路芯片廠中所使用的氣體按用量大小可以分為二種:用量大的稱為大宗氣體(Bulk gas),用量較小的稱為特種氣體(Specialty gas)。

  大宗氣體通常有:氮氣、氧氣、氫氣、氬氣、氦氣等,其中最常見常用的為氮氣。

  大宗氣體工程即集中供氣系統工程,分為氣源部分,輸送管道部分,終端配置設備部分。

大宗氣體工程

      集中供氣系統工程組成

  氣源部分:儲氣裝置有GC/GR,混流排、單瓶或雙瓶多瓶面板等,根據氣體的不同性質來選擇,如腐蝕有毒易燃易爆特氣則用GC,普通惰性氣體用GR。

  管路部分:不同性質氣體用不同材質,如特氣為雙套管,用EP級不銹鋼管作內管,外管為BA級不銹鋼管,普氣則選用BA級不銹鋼管。

  終端部分:VMB/VMP、單面板。根據不同氣體性質選擇,如特氣選用VMB,普氣選用VMP。

  大宗氣體工程設計施工要求:

  1.管件的選擇,業內多數使用SUS316不銹鋼材質管,而該類管的拋光等級上卻有不同,然而不同的氣體對管件有著不同的要求,易燃易爆及毒腐氣體對管件要求比較高,普通電子氣體的要求則相對較低。

  2.閥門組件選擇,不同的閥門有著不同的密封性,其制作工藝上也有很大的區別。對于危險性氣體要選用密封線較高的閥門。

  3.減壓設備選擇,減壓設備要嚴格根據氣體輸送壓力來選擇,減壓范圍要合理,使其壓力變更更加精確。

  4.氣路泄漏偵測是整個工程必不可缺少的部分,部分危險氣體泄漏后危險性極大,所以在安全方面必須有著極為嚴格的要求!

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